無塵室是污染控制的基礎，是一間具備了空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間。在無塵室極高的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產。
我國的無塵室發展起步與國外相比較晚，近二十年來，隨著越來越多外企在國內開辦或合資開辦企業，一些高新技術對生產環境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業也開始追求無塵室的質量。
正確、合理的設計是保證無塵室穩定運行的前提，在實際使用中，不正確的維護操作和不規范的管理都會使無塵室的空氣潔凈度降低，造成無塵室指標達不到要求。因此，正確科學地進行無塵室維護和管理非常重要，并且這要從各方面來完善。
人員控制
經測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業也要對工作人員進行培訓，并制定相應的章程和制度等。
物品管理
工作人員會帶入塵埃，那么所有的物料及設備也會影響無塵室的清潔。在物流和設備進入時，要做到不將任何微?；蛭⑸飵胧覂取９ぷ魅藛T要在無塵室內穿著潔凈衣服，用無塵紙擦拭物料和設備。搬運時也要為地板鋪上已經清潔過的不銹鋼板，防止破壞地板。
定期檢查
對于無塵室中的各種設備，在無塵進入室內后，也要時常清潔滅菌，并且定期進行檢查，防止無塵室內塵粒和微生物的產生、繁衍和滯留。
系統構建和維護
除了防止微塵進入，無塵室也要設置凈化空調系統、水電系統、生產工藝設備等各類設備設施，來確保無塵室內的空氣潔凈度級別使用符合產品生產工藝的要求。在系統正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風機軸承的運行是否處于正常狀態等。每一項都影響了系統的運行，因此不可遺漏。
如今的無塵室，為滿足各類產業的需求，大多會選擇“量身定制”。要盡可能地建造一套完善的系統，防止后續出現問題影響無塵室的使用，且會浪費時間和金錢。很多對這方面缺乏重要性認識的企業，后來都后悔不已，然而為時已晚。
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